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采用连续与脉冲射频等离子体合成低表面能薄膜SiCxOy.通过对薄膜性能的表征,发现等离子体放电模式影响聚合膜的化学结构、表面成份、表面能数值大小,认为采用脉冲射频等离子体更易合成低表面能聚合物.
采用连续、脉冲等离子体合成低表面能薄膜
【摘 要】
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采用连续与脉冲射频等离子体合成低表面能薄膜SiCxOy.通过对薄膜性能的表征,发现等离子体放电模式影响聚合膜的化学结构、表面成份、表面能数值大小,认为采用脉冲射频等离子
【机 构】
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北京印刷学院
【出 处】
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包装工程
【发表日期】
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2005年2期
【基金项目】
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北京市教委科技发展计划项目
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