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表面能薄膜相关论文
采用连续、脉冲等离子体合成低表面能薄膜
采用连续与脉冲射频等离子体合成低表面能薄膜SiCxOy.通过对薄膜性能的表征,发现等离子体放电模式影响聚合膜的化学结构、表面成份......
期刊
射频等离子体
连续脉冲模式
表面能薄膜
Radio frequency plasma Continuous and pulse plasma models Lo
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