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第三十四讲 干涉显微镜1结构和工作原理干涉显微镜（以下简称仪器）主要南主体，工作台、干涉头、测微日镜、照明系统和摄影系统等部分组成．图1为常用的双光束干涉显微镜的结构形式。
长度计量基础知识讲座（三十四）
【摘 要】
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第三十四讲 干涉显微镜1结构和工作原理干涉显微镜（以下简称仪器）主要南主体，工作台、干涉头、测微日镜、照明系统和摄影系统等部分组成．图1为常用的双光束干涉显微镜的结构形式
【机 构】
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上海市计量测试技术研究院
【出 处】
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上海计量测试
【发表日期】
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2012年3期
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