论文部分内容阅读
本文通过（ＩＣＰ）方法，在３英寸范围内ＬａＡｌＯ３和蓝宝石（Ａｌ２Ｏ３）单晶基片上成功实现了两面同时沉积ＹＢＣＯ（ＹＢａ２Ｃｕ３Ｏｙ）高温超导外延薄膜，其ＴＣ０＝８８～９１Ｋ，ＪＣ＝１～５×１０＾６Ａ／ｃｍ＾２，ＲＳ（７７Ｋ，１４５ＧＨｚ）＝２０～４０ｍΩ，双面薄膜的两面一致性和面内均匀性都非常良好，可以满足微波器件研制的要求。