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随着MEMS传感器在各个领域的广泛应用，传感器领域的标准化工作思路和技术路线发生了变化。论述了目前国内外MEMS传感器标准的现状，并就国内外MEMS传感器标准体系的发展过程、特点、标准体系存在的问题、与现有半导体标准的关系进行了分析探讨，同时，对我国MEMS传感器标准的发展对策提出了建议。
MEMS传感器的标准化现状与发展对策
【摘 要】
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随着MEMS传感器在各个领域的广泛应用，传感器领域的标准化工作思路和技术路线发生了变化。论述了目前国内外MEMS传感器标准的现状，并就国内外MEMS传感器标准体系的发展过程、特
【机 构】
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信息产业部标准化研究所,中国电子科技集团公司第四十九研究所
【出 处】
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传感器与微系统
【发表日期】
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2007年8期
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