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用硅的各向异性腐蚀工艺制备发射硅尖阵列
用硅的各向异性腐蚀工艺制备发射硅尖阵列
来源 :电子器件 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jiajianye
【摘 要】
:
本文介绍了真空微电子器件场发射阴极硅尖阵列的制备工艺技术。采用硅的各向异性腐蚀工艺和氧化削尖技术制成了形状和发射性能均较好的硅尖阵列,测试结果表明,起始发射电压为5~6V,发
【作 者】
:
唐国洪
陈德英
【机 构】
:
东南大学微电子中心
【出 处】
:
电子器件
【发表日期】
:
1994年4期
【关键词】
:
微电子器件
硅
发射硅光阵列
各向异性腐蚀
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本文介绍了真空微电子器件场发射阴极硅尖阵列的制备工艺技术。采用硅的各向异性腐蚀工艺和氧化削尖技术制成了形状和发射性能均较好的硅尖阵列,测试结果表明,起始发射电压为5~6V,发射电流在阳极电压为20V时为0.5mA,反向击穿电压为75V。
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