论文部分内容阅读
二氧化钛（TiO2）作为一种常用的薄膜材料，对其近红外波段光学特性的研究很少．利用正交试验法，采用椭圆仪对TiO2薄膜近红外波段的光学特性进行了研究．着重研究了薄膜沉积速率、基片烘烤温度和氧气分压等因素对TiO2薄膜近红外波段的折射率和消光系数的影响．实验结果表明，对TiO2薄膜折射率影响最大的两种因素是薄膜沉积速率和烘烤温度．随着沉积速率的增加，薄膜折射率先增加后减小，最佳沉积速率为0．4nm／s左右；随着基片温度的增加，薄膜折射率从2．15增加到2．23左右；氧气分压也是影响薄膜折射率的主要因素之一，