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当今世界已进入信息时代。信息时代的主要基础是计算机、通讯和自动化设备及其软件。而这些设备又是以微电子器件为基础。面对信息爆炸时代，每日每时都在产生着的数量巨大的信息，需要对其进行处理、传输、存储、显示、打印和应用，这就需要研制和生产集成度更高的集成电...
超大规模集成电路的无损内窥显微分层体视检测
【摘 要】
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当今世界已进入信息时代。信息时代的主要基础是计算机、通讯和自动化设备及其软件。而这些设备又是以微电子器件为基础。面对信息爆炸时代，每日每时都在产生着的数量巨大的信
【机 构】
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云南大学物理系,昆明物理研究所,俄罗斯
【出 处】
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电子显微学报
【发表日期】
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1998年5期
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