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石英钟罩式MPCVD制备金刚石薄膜
石英钟罩式MPCVD制备金刚石薄膜
来源 :新技术新工艺 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zzdj1990
【摘 要】
:
利用自行研制的新型石英钟罩式微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)装置进行轩金刚石薄膜的实验研究。用扫描电子显微镜(SEM)对形貌观察和喇曼谱测试表明,由此装置可以面积较大、晶体良好、杂
【作 者】
:
俞世吉
邬钦崇
【机 构】
:
中国科学院等离子体物理研究所
【出 处】
:
新技术新工艺
【发表日期】
:
1998年2期
【关键词】
:
石英钟罩
MPCVD
金刚石薄膜
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利用自行研制的新型石英钟罩式微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)装置进行轩金刚石薄膜的实验研究。用扫描电子显微镜(SEM)对形貌观察和喇曼谱测试表明,由此装置可以面积较大、晶体良好、杂质少、比较纯净的高质量金刚石薄膜。
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