【摘 要】
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半导体应变片是利用半导体压阻效应的原理,采用集成电路工艺技术,在N型硅片上,掺杂P型杂质而形成的压敏电阻器。 通常,是将半导体应变电阻组成电桥,通过某种结构形式,制成半
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半导体应变片是利用半导体压阻效应的原理,采用集成电路工艺技术,在N型硅片上,掺杂P型杂质而形成的压敏电阻器。 通常,是将半导体应变电阻组成电桥,通过某种结构形式,制成半导体应变
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