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影响钼栅网电解加工尺寸均一性的因素有电解液浓度、电流密度、阴极直径以及极间间隙等。利用Taguchi方法对这些因素进行综合分析及试验验证,阴极直径和极间间隙作用显著。通过ANSYS软件对电解过程中的电场进行分析,得出了阴极直径和极间间隙大小的改变对阳极表面电场的影响规律。在此基础上,采用酸性活化电解液对钼栅网进行微细光刻电解加工,取得了较好的试验结果。