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选择性激光烧结(Selective Laser Sinter,SLS)能成形高复杂制件,但制件存在孔隙率高和强度低的缺陷。等静压技术分为冷等静压(Cold Isostatic Pressing,CIP)和热等静压(Hot Isostatic Pressing, HIP)两类,利用了液体或气体介质的均一性。利用该方法制造的制件组织结构均匀、无成分偏析、尺寸精度高以及变形率低,但也存在包套设计困难、零
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氧化物薄膜由于其丰富的物理性质可广泛地被用于微电子学,光电子学以及微电子机械系统等领域。信息时代的发展要求电子器件集成化,导致了传统的体材器件向薄膜化器件、分离器件向集成化器件转变。氧化物薄膜的微结构、应变、形貌以及性能等都会影响薄膜器件和系统的性能。本文采用了Sin2Ψ和高分辨倒易空间等X射线衍射应力测试方法对BST、CFO和YBCO氧化物薄膜中的应力进行了表征,并对薄膜中的应力与薄膜的微结构和