【摘 要】
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集成电路特有的制备工艺,正在不断拓展。电源电压被限缩,提升了原有的集成性能。这种情形下,集成电路关涉的多重产业,也在快速进展。然而,伴随性能渐渐完善,集成电路潜藏着的
【机 构】
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太原理工大学物理与光电工程学院,忻州师范学院五寨分院
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集成电路特有的制备工艺,正在不断拓展。电源电压被限缩,提升了原有的集成性能。这种情形下,集成电路关涉的多重产业,也在快速进展。然而,伴随性能渐渐完善,集成电路潜藏着的老化疑难,也在逐渐凸显。拟定好的特征尺寸缩减,各时段的负偏置温度,凸显了不稳定的总倾向[1]。为此,有必要明晰老化预测特有的多重属性,探究可用的容忍技术。
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