定向凝固技术在冶金法多晶硅制备过程中的应用

来源 :真空科学与技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:windcode2009
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近几年来,在发展较为迅速的冶金法低成本制备太阳能级多晶硅新工艺中,定向凝固技术得到了较好的应用。定向凝固技术在冶金法多晶硅提纯过程中主要用于去除硅中的金属杂质,在铸造过程中用来进行大尺寸柱状晶的生长,以期获得较好的晶体质量和电学性能。本文在详细介绍冶金法多晶硅制备过程中定向凝固提纯去除硅中金属杂质和多晶硅铸造过程中晶体生长与电学性能提升最新研究进展的基础上,提出将冶金法多晶硅定向凝固提纯过程和定向凝固铸造过程合并成一个新型的定向凝固工序,可以兼顾多晶硅的提纯和晶体生长两种功能,既与冶金法多晶硅定向凝固提纯过程不同,也与多晶硅铸造过程中的定向凝固有所区别。该新型定向凝固技术将减少容器材料的使用量,缩短冶金法工艺流程,降低了冶金法多晶硅生产成本,有利于冶金法多晶硅的技术进步和大规模应用。
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