【摘 要】
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针对半导体、光伏等行业氢氟酸废水氟化氢（HF）含量高、杂质含量低的特点，采用氨水中和法回收其中的HF生产氟化铵产品。应用流程模拟软件对酸碱中和过程、氟化铵溶液蒸发过程进行模拟分析。研究结果表明：中和反应应在偏碱性条件下进行，以保证HF主要转化为NH4F产品，抑制NH4HF2的生成。蒸发过程在负压下进行，可以节省高品位的蒸汽。经浓缩、离心分离后的氟化铵产品质量分数达95%以上。用氨水中和法处理氢氟酸
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针对半导体、光伏等行业氢氟酸废水氟化氢（HF）含量高、杂质含量低的特点，采用氨水中和法回收其中的HF生产氟化铵产品。应用流程模拟软件对酸碱中和过程、氟化铵溶液蒸发过程进行模拟分析。研究结果表明：中和反应应在偏碱性条件下进行，以保证HF主要转化为NH4F产品，抑制NH4HF2的生成。蒸发过程在负压下进行，可以节省高品位的蒸汽。经浓缩、离心分离后的氟化铵产品质量分数达95%以上。用氨水中和法处理氢氟酸废水生成氟化铵产品的工艺路线，从源头上实现了废液收集与资源化利用，大幅度降低废液中重污染物浓度，减轻末端处理负担，减少污泥排放量与二次污染，同时也可产生较好的经济效益。
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