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<正> 当前国外集成电路发展的特点是: 1、对洁净度的要求越来越严格。净化控制的粒子1960年是0.5μm,以后是0.3μm,现在是0.1μm甚至更小。 2、工艺设备一般3～5年就需更新一次。
超级洁净室的设计
【摘 要】
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<正> 当前国外集成电路发展的特点是: 1、对洁净度的要求越来越严格。净化控制的粒子1960年是0.5μm,以后是0.3μm,现在是0.1μm甚至更小。 2、工艺设备一般3～5年就需更新一次
【出 处】
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洁净与空调技术
【发表日期】
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1995年4期
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