【摘 要】
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利用微机电系统(MEMS)工艺制备了5～40μm间隙的金属铝薄膜电极,测取了不同间隙下施加纳秒方波脉冲时的击穿电压,得到击穿电压和平均场强随电极间隙的变化规律,研究了脉宽、极
【机 构】
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西安交通大学电力设备电气绝缘国家重点实验室,中国卫星海上测控部
【基金项目】
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高等学校博士学科点专项科研基金项目(20090201120020)
论文部分内容阅读
利用微机电系统(MEMS)工艺制备了5～40μm间隙的金属铝薄膜电极,测取了不同间隙下施加纳秒方波脉冲时的击穿电压,得到击穿电压和平均场强随电极间隙的变化规律,研究了脉宽、极性对击穿电压的影响,结合击穿后微电极扫描电镜观察结果讨论了其击穿机理,并与相同试样在直流下的结果进行了对比。研究表明:击穿电压随微间隙距离的增大而增大,击穿场强则随着间隙的增大迅速减小;与直流同间隙的击穿电压相比,脉冲作用下的击穿电压并不像宏观尺度下那样高出很多;试样击穿机理应为流注理论。在脉冲作用下,阳极出现了分层熔化现象,由于作用时间很短,阳极表面并未出现类似于直流击穿时留下的"坑洞";阴极则出现了溅射沉积现象,只是沉积物质相对较少。
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