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传感器对被测对象的负荷效应是微机电系统中不可忽视的一个问题.阐述了负荷效应的基本概念,提出了一种通过实验获取传感器负荷效应的方法,称之为"二减一法",并以聚合酶链式反应芯片内的温度传感器为例详细论述了该方法的具体应用.
微机电系统内温度传感器的负荷效应及其补偿
【摘 要】
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传感器对被测对象的负荷效应是微机电系统中不可忽视的一个问题.阐述了负荷效应的基本概念,提出了一种通过实验获取传感器负荷效应的方法,称之为"二减一法",并以聚合酶链式反应芯片内的温度传感器为例详细论述了该方法的具体应用.
【机 构】
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山东大学控制科学与工程学院
【出 处】
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传感技术学报
【发表日期】
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2007年08期
【基金项目】
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国家自然科学基金资助（90307003）,山东省自然科学基金资助项目（Y2003G03）
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