【摘 要】
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随着工业精密测量对于精度和分辨率的要求越来越高,光学探头在工业精密测量中得到了广泛的应用。由于DVD读取头的聚焦误差信号FES（Focus Error Signal）即S曲线的一部分与失焦距
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随着工业精密测量对于精度和分辨率的要求越来越高,光学探头在工业精密测量中得到了广泛的应用。由于DVD读取头的聚焦误差信号FES（Focus Error Signal）即S曲线的一部分与失焦距离成线性关系,因此稍作改进就可以做光学探头,用来进行微小位移的测量[1]。文中给出了其电路设计,该电路分成两个部分,一个是LD功率自动控制电路,一个是FES获取电路。经过实验测试,利用该电路可以获得良好的S曲线,可实现对微器件（几何尺寸数毫米至数微米,精度参数多为微纳米数量级）的精确测量。该电路设计具有结构简单、抗干扰
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