【摘 要】
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研究了热丝CVD系统中灯丝形变引起金刚石薄膜厚度的不均匀性,指出其根源在于灯丝形变使得基底表面温度不均匀,使各处的生长率不一样,并基于一简单模型分析了基底各处生长率与灯丝形
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研究了热丝CVD系统中灯丝形变引起金刚石薄膜厚度的不均匀性,指出其根源在于灯丝形变使得基底表面温度不均匀,使各处的生长率不一样,并基于一简单模型分析了基底各处生长率与灯丝形变的关系。
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