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ｏｎ ａｎｄ Ｈｏｍｏｇｅｎｉｚａｔｉｏｎ ｏｆ Ｄｉａｍｏｎｄ Ｆｉｌｍ ｉｎ ｔｈｅ Ｍｕｌｔｉｆｉｌａｍｅｎｔ ＣＶＤ ＳｙｓｔｅｍTX１ＩｎｔｒｏｄｕｃｔｉｏｎＴｈｅｈｏｔ－ｆｉｌａｍｅｎｔｃｈｅｍｉｃａｌｖａｐｏｒｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ（ＨＦＣ...
Relationship between Power Density Distribution and Homogenization of Diamond Film in the
【摘 要】
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ｏｎ ａｎｄ Ｈｏｍｏｇｅｎｉｚａｔｉｏｎ ｏｆ Ｄｉａｍｏｎｄ Ｆｉｌｍ ｉｎ ｔｈｅ Ｍｕｌｔｉｆｉｌａｍｅｎｔ ＣＶＤ ＳｙｓｔｅｍTX１ＩｎｔｒｏｄｕｃｔｉｏｎＴｈｅｈｏｔ－ｆｉｌａｍｅｎｔｃｈｅｍｉｃａｌｖａｐｏｒｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ（ＨＦＣ...
【出 处】
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Journal of Shanghai University
【发表日期】
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1998年4期
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