论文部分内容阅读
介绍了一种通过分析二元光束阵列的反射光图像，利用Stoney方程解算出薄膜应力的在线测量传感器．传感器是以二维Dammann光栅和Fresnel波带板所组成的集成二元光学分束器为核心设计的．该传感器可进行各种单晶、多晶和非晶结构材料沉积过程的现场应力测量，灵敏度优于2．5×10^4Pa，精度优于4．27％．它具有结构简单、测量速度快、适应性强、设备集成度高而且易于安装调试等特点．与计算机自动控制系统相结合，可以应用于半导体集成电路生产线的薄膜生长过程控制．