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二元光学分束器相关论文
基于自会聚多光束阵列的薄膜应力传感器
介绍了一种通过分析二元光束阵列的反射光图像,利用Stoney方程解算出薄膜应力的在线测量传感器.传感器是以二维Dammann光栅和Fresnel......
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二元光学分束器
薄膜应力
现场传感器
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binary optical splitter
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