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推动全球半导体工业不断进步的两个轮子，一个是特征尺寸不断缩小，另一个是硅片直径不断增大，目前全球300mm芯片生产线正稳步发展。
全球300mm芯片生产线稳步推进
【摘 要】
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推动全球半导体工业不断进步的两个轮子，一个是特征尺寸不断缩小，另一个是硅片直径不断增大，目前全球300mm芯片生产线正稳步发展。
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2007年4期
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