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在介绍一种新型微机械差动电容式压力传感器的基础上,重点介绍一种为其配套的电容—电压变换电路。并以实验结果反映其电路的优点。
微机械电容式压力传感器的变换电路
【摘 要】
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在介绍一种新型微机械差动电容式压力传感器的基础上,重点介绍一种为其配套的电容—电压变换电路。并以实验结果反映其电路的优点。
【机 构】
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大连理工大学电子与信息工程学院
【出 处】
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传感器技术
【发表日期】
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2001年3期
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