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多晶硅薄膜材料一直在半导体领域扮演着重要的角色.综述了多晶硅薄膜材料及其器件的特点、制备方法及研究进展.
多晶硅薄膜材料与器件研究进展
【摘 要】
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多晶硅薄膜材料一直在半导体领域扮演着重要的角色.综述了多晶硅薄膜材料及其器件的特点、制备方法及研究进展.
【机 构】
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武汉理工大学
【出 处】
：
国外建材科技
【发表日期】
：
2006年3期
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