【摘 要】
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首先在硫酸盐溶液中由电镀法制备CoFe2合金薄膜，然后采用阳极氧化法在碱性溶液中氧化CoFe2合金薄膜制备CoFe2O4薄膜，再在空气气氛中、600℃退火3h。用原子分光光度计（AAS）法测量
【机 构】
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电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室
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首先在硫酸盐溶液中由电镀法制备CoFe2合金薄膜，然后采用阳极氧化法在碱性溶液中氧化CoFe2合金薄膜制备CoFe2O4薄膜，再在空气气氛中、600℃退火3h。用原子分光光度计（AAS）法测量合金中Co^2＋、Fe^2＋的含量。由质量法测定铁钴合金薄膜的厚度，研究了电镀CoFe2合金薄膜的工艺条件（电压、时间、温度）对CoFe2薄膜厚度的影响。分别用X射线衍射仪（XRD）、扫描电子显微镜（AFM）和振动样品磁强计（VSM）观测薄膜的相成分、表面形貌和磁性能。结果表明，制备的CoFe2O4薄膜具有尖晶石结构
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