硅表面氧吸附的自洽键轨道计算

来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zhym821211
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一种简单的考虑到电荷转移引起原子波函数变化的自治键轨道计算用于 Si(111)表面原子氧吸附的研究.在顶位吸附的模型下,适当选择Si-O键的长度可以得到在价带光电子发射谱中几个主要峰的相对能量位置.结果表明,顶位吸附的 Si-O键的长度只略小于体内Si-Si键的长度,而不是通常猜测的那样接近SiO_2体内的键长.同样的计算也能给出氧化后的Si-O键的能量. A simple autonomic orbital calculation that takes account of the change of the atomic wave function, which takes charge transfer into account, is used to study the atomic oxygen adsorption on Si (111) surface. Under the model of the top adsorption, the proper choice of Si-O bond length can be obtained The results show that the length of the Si-O bond adsorbed on the top site is only slightly shorter than the length of the Si-Si bond in the body, not the bond that is usually speculated to be close to the inside of the SiO 2 body The same calculation gives the energy of the oxidized Si-O bond.
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