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投影光刻机的性能直接决定了集成电路的特征线宽,随着特征尺寸（CD）的不断减小和套刻精度的不断提高,AMC将会越来越严重地影响圆片的加工质量和成品率,并会影响工作人员的身体健康。介绍AMC的分类、危害、控制方法及检测方法,为投影光刻机中AMC的有效控制提供参考。
投影光刻机中气相分子污染物（AMC）的控制及检测
【摘 要】
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投影光刻机的性能直接决定了集成电路的特征线宽,随着特征尺寸（CD）的不断减小和套刻精度的不断提高,AMC将会越来越严重地影响圆片的加工质量和成品率,并会影响工作人员的身体健康。介绍AMC的分类、危害、控制方法及检测方法,为投影光刻机中AMC的有效控制提供参考。
【机 构】
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上海微电子装备(集团)股份有限公司
【出 处】
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电子技术
【发表日期】
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2019年01期
【基金项目】
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上海市高科技企业技术创新课题项目；
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