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用扫描原子力显微镜(AFM)研究了射频磁控溅射工艺参数(功率、放电气体压力、氧气分压强等)对ZnO透明导电薄膜微结构的影响.
磁控溅射沉积氧化锌薄膜的原子力显微镜研究
【摘 要】
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用扫描原子力显微镜(AFM)研究了射频磁控溅射工艺参数(功率、放电气体压力、氧气分压强等)对ZnO透明导电薄膜微结构的影响.
【机 构】
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太原理工大学
【出 处】
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机械管理开发
【发表日期】
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2003年1期
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