【摘 要】
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尝试采用等离子化学气相沉积法在不同的基体材料上由M_o(CO)_6制得金属钼保护层。所得的沉积膜经鉴定为含碳的金属钼,具有非晶态或准非晶态结构。研究了载气、基材温度、等
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尝试采用等离子化学气相沉积法在不同的基体材料上由M_o(CO)_6制得金属钼保护层。所得的沉积膜经鉴定为含碳的金属钼,具有非晶态或准非晶态结构。研究了载气、基材温度、等离子反应器压力、M_o(CO)_6
Attempts to use plasma chemical vapor deposition method in different matrix material by M_o (CO) _6 metal molybdenum protective layer. The resulting deposited film was identified as carbon-containing metallic molybdenum, with an amorphous or quasi-amorphous structure. Carrier gas, substrate temperature, plasma reactor pressure, M_o (CO) _6 were studied
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