【摘 要】
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InAs/GaSb II类超晶格是一项新型的红外焦平面技术,其响应波长可以覆盖3-30μm的光谱范围,具有均匀性好、暗电流低和量子效率较高等优点,是最有希望的碲镉汞的替代技术。1987
【机 构】
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北京系统工程研究所,中科院上海技术物理研究所
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InAs/GaSb II类超晶格是一项新型的红外焦平面技术,其响应波长可以覆盖3-30μm的光谱范围,具有均匀性好、暗电流低和量子效率较高等优点,是最有希望的碲镉汞的替代技术。1987年,人们发现了其在红外探测领域的应用价值后,II类超晶格材料和器件的研究获得了极大的关注,特别是近年来II类超晶格探测器的发展在国际上极为迅速,美欧等一些技术先进的国家已经获得了大规模、高性能的超晶格焦平面探测器并实现了清晰的实验室红外热成像。本文简要介绍该项新型红外探测技术的基本原理、技术特点、技术关键及其在国内外的发展趋
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