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以碳化硅和铝粉为原料,均匀混合后在不同气氛中于2000℃下保温0.5h制得粉体。用X射线衍射分析(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)对其进行表征。同时在8.2~12.4GHz频率范围内测试其介电性能。结果表明:在N2气氛中,当铝的含量较少时,未出现AIN物相,当铝含量超过10at%时,AIN相开始出现,并且AIN的含量随着铝含量的增加而增加。掺杂铝样品与未掺杂铝样品相比,其介电常数实部ε′和介电损耗tanδ皆降低,且随着铝含量的增加而逐步降低,主要是因为AIN具有较低的介电常数实部和损耗。