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程长控制镜是保持环形谐振腔腔长稳定的重要器件之一，温度变化引起的热形变直接影响环形谐振腔的光路形状和光束质量。首先利用ANSYS软件建立了程长控制镜的有限元仿真模型，分析了不同温度条件下程长控制镜的温度场及耦合场，得到了程长控制镜反射镜面中心形变量云图，对变温条件下程长控制镜反射镜面中心形变规律进行了研究，得到了反射镜面中心形变量与温度的关系函数。然后，通过扫模实验和温度实验验证了有限元模型的正确性，计算相对误差为2.5%。最后，仿真分析了程长控制镜各个部件导热系数、杨氏模量、线膨胀系数的影响规律。不同材