【摘 要】
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低能气相腐蚀系统在微电子机械系统（MEMS）生产工艺中的应用非常广泛,但是该系统的设计和开发十分复杂.为了降低 系统设计的复杂度和生产成本,对低能气相腐蚀系统进行了基于可视
【机 构】
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甘肃省科学院传感技术研究所甘肃省传感器与传感技术重点实验室
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低能气相腐蚀系统在微电子机械系统（MEMS）生产工艺中的应用非常广泛,但是该系统的设计和开发十分复杂.为了降低 系统设计的复杂度和生产成本,对低能气相腐蚀系统进行了基于可视化开发工具LabVIEW的建模和仿真.以XeF2腐蚀MEMS中的 无定形硅为例,对腐蚀速率、时间与腐蚀效果之间的关系进行了研究,重点分析和讨论了建模中需要解决的三个重要问题：循环控制 回路中交换腔气体压强的计算方法、恒定腐蚀速率下腐蚀气体压强的计算方法以及非晶硅牺牲材料表面积与时间的关系.根据对反 应趋势的计算结果进行仿真,表明在腐蚀一
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