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建立了钌粉和钌靶中氧、氮含量的测定方法。研究了样品前处理、仪器条件、助熔剂选择、方法准确度和精密度等。以锡一碳作助熔剂，在选定条件下，采用脉冲红外和热导检测法，测定50-10石氧时RSD〈10％，测定40×10^-6氮时RSD〈25％；加标回收率：氧100％～102％，氮91％～101％。测定范围：氧0．002％～0．4％，氮0．0001%-0．02％。方法简便、快速、精密度和准确度满足质量控制要求。