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建立了亚单层铜薄膜生长的三维模型，用动力学蒙特卡罗方法对亚单层铜薄膜的生长过程进行了模拟，研究了衬底温度和沉积速率对亚单层铜薄膜生长的影响，结果表明，随衬底温度升高和沉积速率降低，岛形状由离散型逐渐转变为紧致型，形成近四方形的岛，岛的平均尺寸急剧增大，岛的数目迅速减少，衬底温度达到一定值之后，岛的数目基本不变．