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利用分子动力学方法模拟了碳原子与碳氢薄膜的作用过程.探讨了不同入射能量对碳原子与碳氢薄膜相互作用的影响.模拟结果表明碳原子与碳氢薄膜作用会在表面形成碳薄膜.随着入射能量的增加,碳薄膜厚度变薄.在碳薄膜中碳原子的成键形式主要为Csp2-Csp2和Csp2-Csp3,随入射能量的增加,碳原子键价结合形式从Csp2-Csp2向Csp2-Csp3转化.