一种微机电系统器件的建模与仿真

来源 :北京电子科技学院学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：pz421769788

【摘要】

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针对MEMS器件系统级建模的特点,本文以多端口组件网络方法为基础,结合NODAS方法,采用MAST作为硬件描述语言,建立了锚点、梁和质量块的组件模型,并在SABER软件上进行了仿真.仿

【作者】

：

王航宇

【机构】

：

西安航空职业技术学院

【出处】

：

北京电子科技学院学报

【发表日期】

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2007年4期

【关键词】

：

微机电系统 SABER软件系统级仿真动态行为特性 Micro Electro-Mechanical System SABER software system

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针对MEMS器件系统级建模的特点,本文以多端口组件网络方法为基础,结合NODAS方法,采用MAST作为硬件描述语言,建立了锚点、梁和质量块的组件模型,并在SABER软件上进行了仿真.仿真结果表明:本文所建立的梁和质量块的模型,其频域仿真的相对误差小于,可精确描述其动态行为特性,为MEMS器件系统级的快速仿真奠定了基础.

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