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本文介绍卧式扫描隧道显微镜／原子力显微镜(STM/AFM)的原理、结构及其主要应用。STM／AFM机构可广泛应用于表面科学、材料科学、生命科学等各个领域。世界上现有的性能优良的STM／AFM系统价格昂贵，而使用较普遍的立式AFM由于受到探针本身重力的影响，致使仪器性能不十分理想。实验室研制的卧式STM／AFM系统，由于消除了探针自身重力的影响，系统性能进一步提高，达到3nm的分辨率和6．5(m的扫描范围；另外，考虑到国内的实际情况，尽量降低设计制作成本，适合于国内推广使用。目前，该型STM／AFM系统已在