薄膜厚度对MOCVD法沉积ZnO透明导电薄膜的影响

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本文研究了薄膜厚度对MOCVD技术制备未掺杂ZnO薄膜的微观结构和电学特性影响。XRD和SEM的研究结果表明,随着薄膜厚度的增加,ZnO薄膜(110)峰趋于择优取向,且晶粒逐渐长大,薄膜从球状和细长棒状演变为具有类金字塔绒面结构特征的ZnO薄膜;Hall测量表明,较厚的ZnO薄膜有助于提高薄膜电学特性,可归于晶粒长大和晶体质量提高。40min沉积时间(膜厚为1250m)制备出的ZnO薄膜具有明显绒面结构,其晶粒尺寸为300-500m,电阻率为7.9×10^-3Q·cm,迁移率为26.8
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