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微机械轮式陀螺仪的结构分析
微机械轮式陀螺仪的结构分析
来源 :第十届全国敏感元件与传感器学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:mzhao79
【摘 要】
:
以轮式陀螺仪为研究对象,利用有限元方法分析了主要结构尺寸对其固有频率的影响.根据驱动模态和敏感模态的频率匹配,优化了陀螺的结构尺寸;通过谐响应分析确定了频率和振幅的关系,为结构设计和制备工艺提供了理论指导.
【作 者】
:
郭宏宾
赵玉龙
蒋庄德
【机 构】
:
西安交通大学,精密工程研究所,西安,710049 西安交通大学,机械制造系统工程国家重点实验室,西
【出 处】
:
第十届全国敏感元件与传感器学术会议
【发表日期】
:
2007年7期
【关键词】
:
微机电系统
硅微机械陀螺
有限元方法
模态分析
谐响应分析
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以轮式陀螺仪为研究对象,利用有限元方法分析了主要结构尺寸对其固有频率的影响.根据驱动模态和敏感模态的频率匹配,优化了陀螺的结构尺寸;通过谐响应分析确定了频率和振幅的关系,为结构设计和制备工艺提供了理论指导.
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