微机械轮式陀螺仪的结构分析

来源 :第十届全国敏感元件与传感器学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:mzhao79
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以轮式陀螺仪为研究对象,利用有限元方法分析了主要结构尺寸对其固有频率的影响.根据驱动模态和敏感模态的频率匹配,优化了陀螺的结构尺寸;通过谐响应分析确定了频率和振幅的关系,为结构设计和制备工艺提供了理论指导.
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