纳米加工和纳米电子器件

来源 :微纳电子技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：LUXU_ZHANG

【摘要】

：

介绍了电子束曝光技术、EUV光刻技术和X射线光刻技术的进展;对各种纳米电子器件如单电子器件、共振隧穿器件和分子电子器件的研究现状及面临的主要挑战进行了讨论.

【作者】

：

刘明谢常青王丛舜龙世兵李志钢易里成荣涂德钰

【机构】

：

中国科学院微电子研究所

【出处】

：

微纳电子技术

【发表日期】

：

2005年9期

【关键词】

：

自上而下的纳米加工纳米器件单电子器件共振隧穿器件 top-down nano-fabrication nano-devices single elec

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