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对InN薄膜在氨气氛下的高温退火行为进行了研究．利用XRD，SEM和XPS对样品进行了分析．结果表明，InN薄膜的结晶质量和表面形貌并不随退火温度单调变化．由于高温退火时N原子的挥发，剩下的In原子在样品表面聚集形成In颗粒．当退火温度高于425℃时，In原子的脱吸附作用增加，从而导致样品表面的In颗粒在退火温度高于425℃时逐渐减少．XRD和SEM结果表明In颗粒密度最高的样品具有最差的结晶质量．这种现象可能是由于In颗粒隔离了其下面的InN与退火气氛的接触，同时，金属In和InN结构上的差异也可能在I