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红外(IR)遥感成像应用需要高性能的焦平面列阵(FPA),工作在整个红外光谱范围,即短波红外(SWIR):1μm~3μm;中波红外(MWIR):3μm~5μm;中长波红外(MLWIR):6μm~8μm;长波红外(LWIR):8μm~14μm;以及超长波红外(VLWIR):〉14μm。这些不同的光谱波段需要大量高性能的探测器和读出集成电路(ROIC),以便完成各种多光谱的任务。在过去几年中,在HgCdTe探测器列阵和读出集成电路的设计和制造方面取得了重大进展,证明高分辨率、低噪声和大尺寸的焦平面列阵是可以获