【摘 要】
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本文报导的PVC膜硝酸根半导体传感器(简称NO_3~--ISFET)是在场效应晶体管的绝缘栅上制作一层对硝酸根离子敏感的PVC膜。其敏感膜以乙基紫—NO_3~-缔合物为电活性物质。制作
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本文报导的PVC膜硝酸根半导体传感器(简称NO_3~--ISFET)是在场效应晶体管的绝缘栅上制作一层对硝酸根离子敏感的PVC膜。其敏感膜以乙基紫—NO_3~-缔合物为电活性物质。制作工艺简单,响应时间快,易集成化,稳定性和重现性都很好,有利于推广应用。 这种传感器的制造是采用集成电路工艺制
The reported PVC membrane nitrate sensor (NO_3 ~ --ISFET) is a kind of PVC membrane which is sensitive to nitrate ions on the insulated gate of field effect transistor. The sensitive membrane to ethyl violet -NO_3 ~ - associate as electroactive substances. Production process is simple, fast response time, easy integration, stability and reproducibility are good, is conducive to the promotion and application. This sensor is manufactured using integrated circuit technology
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