【摘 要】
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硬脆晶体材料如Si C、Ge和Si等,由于具有极高的硬度和脆性,普通线锯切割很难进一步提高硬脆材料晶片的切割效率和表面质量。本研究把超声振动应用到金刚石线锯切割单晶Si C。
【机 构】
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西安理工大学机械与精密仪器工程学院,河南科技大学
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硬脆晶体材料如Si C、Ge和Si等,由于具有极高的硬度和脆性,普通线锯切割很难进一步提高硬脆材料晶片的切割效率和表面质量。本研究把超声振动应用到金刚石线锯切割单晶Si C。基于超声振动切削加工的特点,分析了柔性线锯横向振动切割单晶Si C的必要条件;建立了横向超声激励下柔性金刚石线锯对Si C工件的动态切割过程模型,研究分析了超声振动对线锯间歇切割弧长及切割速度的影响,得到横向超声振动线锯切割速度增量的数学表达式。基于压痕裂纹模型,讨论了横向超声振动线锯切割和普通线锯切割对切割速度、切割力和表面粗糙度的
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