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线锯振动切割条件相关论文
横向超声激励对金刚石线锯切割单晶SiC切割速度及切割机理影响
硬脆晶体材料如Si C、Ge和Si等,由于具有极高的硬度和脆性,普通线锯切割很难进一步提高硬脆材料晶片的切割效率和表面质量。本研究......
期刊
金刚石线锯
横向超声振动
线锯振动切割条件
锯切速度
SI
C切割实验
diamond wiresaw transverse ultrasonic vibrat
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