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对集成电路针孔缺陷引起功能成品率下降的模型进行了研究，给出了分析和仿真针孔功能成品率的两种计算方法－Monte-Carlo方法和关键面积提取方法，这对集成电路成品率设计和分析是非常重要的。
针孔缺陷对集成电路功能成品率影响分析与仿真
【摘 要】
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对集成电路针孔缺陷引起功能成品率下降的模型进行了研究，给出了分析和仿真针孔功能成品率的两种计算方法－Monte-Carlo方法和关键面积提取方法，这对集成电路成品率设计和分析是
【机 构】
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西安电子科技大学微电子所
【出 处】
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半导体学报
【发表日期】
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2001年1期
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