【摘 要】
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针对等离子体渗氮工艺过程特殊,控制量变化复杂, 人为因素影响较大等情况.利用自行研制的大功率直流脉冲电源进行等离子体渗氮,在很大 程度上解决了物理参数与工艺参数的耦合
【机 构】
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中国运载火箭技术研究院,中南民族大学
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针对等离子体渗氮工艺过程特殊,控制量变化复杂, 人为因素影响较大等情况.利用自行研制的大功率直流脉冲电源进行等离子体渗氮,在很大 程度上解决了物理参数与工艺参数的耦合问题,同时改善了灭弧性能,为渗氮工艺自动控制 提供了可能.因此,提出了一种利用智能仪表、上位机进行主从式控制等离子体渗氮工艺的 自动控制方案,实验结果表明:该渗氮工艺控制系统可以较好地实现渗氮工艺过程控制,提高了自动化水平,增强了工件渗氮效果.
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